国产光刻机最新进展2025（目前国内光刻研究的整体进度评估）
国产光刻机最新进展2025（目前国内光刻研究的整体进度评估）
编者按：前文概述了长春光机所的六镜头EUV光刻光学研究相关内容；在继续梳理和分析我国极紫外光刻机光学系统、光源等技术进展和存在的困难之前，我在本文里补充一下国内光刻研究的整体进度，并且阐明我的撰写逻辑。以便更多的读者可以从更系统、更全面的角度去了解我在这个系列撰文里所提出的观点及论述。
光刻机运动台控制
上海光机所的《激光与光电子学进展》
众所周知，上海光机所是我国先进激光技术的顶尖研究单位之一，我曾经在前文详细介绍过上海光机所的极紫外光刻光源相关研究工作。
上海光机所主办一个国内核心期刊《激光与光电子学进展》，其中基本涵盖我国激光、光学的主要进展和成果介绍。
《激光与光电子学进展》在2025年5月10日出版了专题《光刻技术》，几乎涵盖了我国光刻研究的全面资料。这期的封面便是DUV光学曝光系统的示意图。
2025年5月《光刻技术》专刊封面
《光刻技术》专刊
这期专刊一共发表30篇特邀综述文章，涵盖了包括EUV光源、计算光刻、照明系统、投影物镜检测、光刻胶、浸液系统、准分子激光、光刻机运动控制台等光刻机研究的方方面面。例如，撰写准分子激光文章的便是北京科益虹源的总经理江锐博士。
极紫外光刻光源
光机所和上海大学微电子学院合著《极紫外光刻光源的研究进展及发展趋势》一文，其中不仅详细介绍了ASML和日本Gigaphoton的EUV光源进度，还介绍了上海光机所2025年前后的EUV光源的液锡系统的几篇专利。这些专利也在我的前文中做过详细介绍，这里就不赘述了。
极紫外光刻胶
《极紫外（EUV）光刻胶的研发》一文的作者杨国强教授和李嫕教授，分别在中国科学院光化学重点实验室和中国科学院理化技术研究所带领团队开展极紫外光刻胶开发。因此这篇论文不仅涵盖了光刻胶开发历史，而且介绍了两位教授团队的最新成果和专利。我们注意到几篇光刻胶专利都是2025年刚刚发表的。
因此，很显然，这些资料已经充分地披露了最新的光刻机研究项目的进展，以这些资料作为背景做中国的光刻机困局的分析，是充分的、也是有时效性的。
长春光机所进口德国的镀膜设备NESSY1900
中国光刻机困局研究的基本方法
技术分析是动态的，大致上建立一个随时间演变的基本的发展速度的模型，以过去二十年、三十年的基本背景作为参数，去评估、校正各种因素在其中的限制，以此去预测未来的发展曲线。
技术发展曲线的讨论分为创新行为和复制行为，正如我前文所述，它们依赖于完全不同的人才、软硬件条件、资源等。
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